SAW filter용 수정웨이퍼 제조

기술 개요

· 수열법을 이용하여 1,500기압, 400℃의 조건으로 대형 (3∼4㎏) 압전수정 합성· 합성된 단결정을 정밀가공하여 웨이퍼 제조· 생산성 : 5개월에 원석 350㎏(웨이퍼 5,000unit 제조)생산· 결함밀도 : 진동자용 수정의 1/10이하· 원석의 형상을 제어하여 고품위 원석 합성기술

기술 정보

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