TV 브라운관 알루미늄 증착용 BN Heater

기술 개요

· 알루미늄 박막 제조용 TiB2/BN계 세라믹스 증착용 Boat 제조 기술 - 비저항: 200 - 1000 μΩcm - 비저항 온도계수: 1.3 - 2.5 x 10-3 - 열팽창 계수: 4 - 6 x 10-6· 산포가 우수 · 알루미늄 박막의 부위별 두께 차이 최소화

기술 정보

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