기술 개요
본 연구실에서는 축적된 세라믹스 제조공정에 대한 경험을 바탕으로 강유전체 박막에 이용되는 Pb(Zr,Ti)O3, SrBi2Ta2O9, Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 등 다양한 물질의 대구경 target을 제조하였으며 벌크조성에 대한 소재특성과 특성평가기술을 확보하였다. FRAM용 강유전체 박막으로 많이 연구된 Pb(Zr,Ti)O3는 전압이 반복 인가되면서 특성이 열화되어 소자의 수명이 짧아지기 때문에 소자의 신뢰도가 떨어진다는 문제를 가진다. 현재 새로운 조성의 물질을 통해 이 문제를 극복하려는 노력이 진행중인데 Bi-layer 구조의 SrBi2Ta2O9는 박막으로 제조시 109Hz 이상에서도 별다른 열화 현상을 나타내지 않으며 유전율이 비교적 낮아서 다른 강유전체 박막에 비해서 응답 속도가 빠르다는 장점을
기술 정보
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