기술 개요
최근 산업이 고속도화, 고능률화 및 고정밀화의 추세로 발전함에 따라 우수한 내마모성, 내식성을 갖는 코팅기술을 요구하게되었다. 최근 습식 코팅보다는 환경친화적인 건식코팅으로 코팅기술이 개발되고 있으며 건식코팅에는 크게 물리증착법과 화학증착법으로 나룰 수 있다. 화학증착법은 물리증착법보다 밀착력이 좋고 복잡한 형상에 코팅이 가능하다. 종래의 화학증착법은 1000도에서 이루어짐으로 피처리물의 칫수변화와 연화로 인한 기계적 성질 저하의 문제점이 있다. 이를 해결하기 위하여 500도 정도의 온도에서 처리가 가능한 플라즈마 화학증착법이 대두되었는 데 이 공정에서는 유독성이고 부식성이 강한 사염화티타늄을 씀으로 생성된 밋이 염소를 포함하고 있고 장비의 부식을 촉진시킨다. 이 층에 잔존하는 염소는 층의 기계적 성질을 저
기술 정보
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