기술 개요
직류 플라즈마제트 장치, 고주파 열플라즈마 장치 및 연소염법 장치를 이용하여 다이아몬드를 합성하였다. 열플라즈마(직류, 고주파)에 의하여 다이아몬드를 합성하는 경우 CH4/H2의 비 및 기판 온도가 결정성이 좋은 다이아몬드를 합성하는데 있어서 중요한 영향을 미치는 것을 확인하였다.값싼 Alcohol류를 반응원료로 사용하여 다이아몬드를 합성할 수 있었다.
기술 정보
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