기술 개요
저온 플라스마는 부분적으로 이온화된 기체로서, 전기적 방전(D.C., A.C., A.F., R.F., Microwave)을 이용하면 손쉽게 발생시킬 수 있다. 저온 플라스마는 일반적으로 널리 알려진 플라스마(고온 플라스마 또는 열 플라스마)와는 달리 이온 농도가 매우 낮으나(10-5~10-6정도) 평균온도가 상온에서 크게 벗어나지 않고 높은 농도의 Free Radical과 같은 반응기들을 포함하고 있어 각종 소재들의 표면처리와 고분자 박막 코팅에 효율적으로 이용될 수 있다.이러한 저온 플라스마를 이용하는 저온 플라스마 공정은 주로 다음과 같은 분야에 응용된다. o 각종 소재들의 친수성 및 소수성 향상 o 각종 소재들의 접착성 향상 o 금속, 광학부품, 플라스틱 소재들의 부식방지 및 내약품성 향상 o 금속 및
기술 정보
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