기술 개요
실험적이 테스트와 이론적인 정립은 방목 각에서 X-ray 산란도는 0.1A정도의 평균 높이를 갖는 표면에는 아주 민감하다는 것을 보여 주고 있다. 그러나, 현재의 진단 방법을 사용한다면, 측정을 하는데 1시간이 걸리고, 각 제어 사이클 전에 정확한 조정을 필요로 한다.우리의 이 분야에서의 혁신적인 연구 성과는 다층 X-ray 광학에 기초해서 새로운 2-빔 진단방법을 개발한 것이다. 이것은 등록시간과 자동 조정시간을 현저하게 줄임으로서 실시간 제어를 가능하게 한다.산업 : 반도체 웨이퍼, 자기 기억장치, 대면적 반사경, 박막, 다층 구조의 처리.과학 : 기판, 박막, 다층 구조
기술 정보
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