기술 개요
금속 또는 금속산화물이 반도체 센서금속산화물에 첨가되었을 때 복합반도체장치를 형성의 결정적인 역할을 설립했다. 혼합물 첨가 농도는 가장 효율적인 금속산화물의 센서 성질을 바꾸어주는 방법중의 하나이다. 문헌을 보면 가스를 감지하기 위한 금속산화물의 사용에 관한 많은 보고서는 압도적으로 경험에 의존한 것들이 많다. 많은 연구 그룹의 노력에도 불구하고, 이와 같은 재료에 대한 가스 감도와 선택성에 관한 도핑 첨가의 진행 메커니즘에 관한 성질은 해결하지 못했다.이 시스템을 개발하면 고체센서 특성을 좀더 환경과 산업현장에서 요구하는 가스센서에 부합되게 조정할 수 있다.
기술 정보
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