기술 개요
SOD(Silicon on Diamond)소자란 SOI(Silicon on Insulator)소자에서 출발된 개념의 소자형태이다. SOI는 기존의 MOS 소자와는 달리 절연체위에 소자가 존재하여 소자내 절연특성을 향상시켜, 소자사이의 간격을 좁힙으로서 고밀도, 고성능 반도체소자의 개발에 중요한 역할을 하고 있다. 실재로 최근에 개발된 16M DRAM등의 반도체들이 SOI를 이용하여 개발되고 있다. 일반적으로 SOI소자의 경우 절연체로 SiO2등의 산화물을 사용하고 있다. 그러나 절연체로 사용되는 산화물의 열발산에 한계가 있어서 소자의 고밀도화, 고성능화에 장애가 되고 있다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 절연체로 다이아몬드를 사용하는 것이 바로 SOD이다. 다이아몬드는 열전도성이 은이나 구리등의 금속보다 뛰
기술 정보
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