기술 개요
공작기계에 주로 사용되는 linear encoder의 정확도를 평가할 수 있는 장치를 제작하였다. 장치는 크게 두 종류로 유리눈금판 자체의 정확도를 평가하기 위한 것과 조립시 혹은 조립중의 linear encoder의 정확도 및 duty비를 측정할 수 있는 것으로 측정 길이는 2m이다. 측정기준으로 레이저 간섭게를 사용하였으며 정확도는 전자의 경우 2m 에 대하여 전자의 경우 2㎛, 후자의 경우 5㎛ 미만이다.분해능 1㎛의 linear encoder를 위한 index scale의 설계제작, 검출기 및 분할회로의 설계 및 제작을 하였다.
기술 정보
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