기술 개요
Silicon-On-Insulator(SOI) 기술을 이용한 반도체 소자는 높은 신뢰성과 빠른 동작속도 및 집적도의 향상 등을 쉽게 얻을 수 있는 이점 때문에 최근에 활발한 연구가 진행되고 있다. 특히, SOI기술은 절연격리가(dielectric isolation)가 용이하기 때문에 전력 집적회로 (power IC)의 제작에 이용될 경우 소자의 스위칭 속도를 향상시킬 수 있고 논리회로와 전력소자를 구조적으로 완전히 분리시킬 수 있는 등의 여러 가지 장점이 있어 최근에 많은 연구가 활발히 진행되고 있다. 전력용 개별소자(discrete device)로 많이 쓰이고 있는 수평형 IGBT(Lateral Insulated Gated Bipolar Transistor)는 SOI 기판 위에 제작할 때 위에서 언급한 것
기술 정보
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