기술 개요
기존 yaw rate sensor는 기계적인 회전형 yaw rate sensor와 이를 개선한 fiber optic gyroscope가 주로 사용되어 왔는데 이들은 대략 수천에서 수백 ＄에 이르는 고가이고 부피가 크다는 제약으로 인해 항공기, 우주선, 선박 등의 제한된 용도에만 사용되었기 때문에 반도체 가공기술을 응용한 마이크로머시닝 기술을 사용하여 저렴한 생산원가로 기존의 기계적 또는 광학적 yaw rate sensor에 비해 성능면에서 뒤지지 않는 반도체형 초소형 yaw rate sensor를 개발하는 연구를 진행하고 있다. 이를 위해 현재 다결정 실리콘 재료를 사용하여 표면 마이크로머시닝 기술로 가공하는 yaw rate sensor를 설계하여 제작하고 있다. 이러한 초소형 yaw rate sensor는
기술 정보
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