기술 개요
위성체를 안전하고 용이하게 열진공 챔버 내부로 이송시키며, 열진공 챔버 내부로 이송시키며 열진공 챔버의 내부오염을 최소화하는 테이블 리프트를 이용한 열진공 챔버용 위성 작업대를 제공한다. [구성]챔버(50) 내부의 챔버레일(70)과 테이블 리프트(100,110)의 레일을 일치시켜 레일 길이를 연장하고, 제2테이블 리프트(110)가 펼쳐진 뒤 도어 돌리(20)의 전기모터를 구동시켜 도어(10)를 챔버(50)쪽으로 이동시킨다. 도어(10)가 이동되면 위성체(40)가 얹혀진 지지대(30) 하측의 롤러(31)는 테이블 리프트(100)의 레일을 따라 이송되며 지지대(30)의 롤러(31)가 제1테이블 리프트(100)의 상판(111)에서 제2테이블 리프트(110)의 상판(112)으로 이동되면, 제1테이블 리프트(100)
기술 정보
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