기술 개요
절대온도 20K 를 발생시킬 수 있는 극저온 냉동기를 설계하고, 제작할 수 있는 설계 및 생산기술의 이전. G-M 극저온 냉동기는 크게 Compressor module과 Expansi on module 및 핵심분야인 Expansion module에 e에 대한 Control part로 나눌 수 있는데 설계 및 제자에 관한 경험을 토대로 이를 국산화하고자 함. 극저온 냉동기를 이용한 Cryopump의 제작을 위해서는 진공흡착 판넬의 설계기술의 활용으로 입자의 흡착효과가 최적화될 수 있도록 개선된 형상으로 설계, 제작할 수 있도록 함. 헬륨의 액화 이용장점 : 소음고 고장이 적고 안정성, 내구성이 뛰어나다. 진공용으로 활용시 Throughput가 크다. 단점 : 극저온을 발생시키므로 열용량이 적다. 극저온 발생기
기술 정보
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