기술 개요
최첨단 연구장비인 레이저 MBE장치의 국산화 생산 및 저가보급-세라믹 인공격자 및 신소자 개발에 응용. 첨단 신소재 개발에 응용.초고진공 기술, 다중 타켓 자동교환 장치, 고진공 및 산화분위기용 초고온 히터 장치. RHEED 영상데이터 수집 및 해석, 레이저 MBE용 정밀 구동장치.
기술 정보
한국산업기술진흥원(KIAT) 국가기술은행(NTB) 공개 데이터 기반 자동 정리 정보입니다. 이전 조건·세부사항은 보유기관 확인이 필요합니다.
최첨단 연구장비인 레이저 MBE장치의 국산화 생산 및 저가보급-세라믹 인공격자 및 신소자 개발에 응용. 첨단 신소재 개발에 응용.초고진공 기술, 다중 타켓 자동교환 장치, 고진공 및 산화분위기용 초고온 히터 장치. RHEED 영상데이터 수집 및 해석, 레이저 MBE용 정밀 구동장치.
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