기술 개요
공정최적화 시스템 개발 동특성치의 로버스트 설계 방법을 개발하고 patterning공정의 위치와 선폭의 전사성과 관련하여 신호인자와 잡음인자를 결정하는 방법을 제시 순서화된 범주형 데이타로 얻어지는 특성치에 대한 여러 가지 분석방법을 비교 검토하여 어떠한 경우에 어떤 방법을 채택하는 것이 적절한가를 제시 다특성치간의 상호의존성을 고려한 분석방법의 개발과 현장에서의 적용이 용이한 간편법을 제시 시뮬레이터를 이용한 IC설계 단계에서 IC의 품질을 확보하는 로버스트 설계방법의 개발 생산계획 및 스케쥴링 시스템 개발 Oxidation공정에서 작업장방문횟수를 반영한 최적운영규칙 개발 포토공정에서 마스크변경시간을 감안한 최적 스케쥴링규칙 개발 제조라인 시뮬레이터의 개발 반도체제조라인의 시뮬레이션 및 스케쥴링 관련 연구
기술 정보
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