기술 개요
플라즈마질화법은 진공용기에서 1-10torr의 질소와 수소의 혼합가스가 반응하여피처리물 표면에 질화층을 형상하여 폭발위험성이 없고 폐수등의 환경오염 물질배출이 없는 반면에 염욕질화법은 CN이온을 배출하고 가스질화법은 플라즈마질화법에 비해 약 250-300배 이상의 암모니아가스를 배출하여 심각한 환경오염을 유발하는 문제점을 지니고 있다. 따라서 표면경화방법중 환경친화적인 에너지절약기술로서 플라즈마질화법에 대한 관심과 중요성이 크게 부각되고 있는 실정이다. 더불어 플라즈마 질화법의 또 다른 특징은 음극방출에 의해 피처리물 표면이 활성화되어 질소원자의 확산을 촉진시키므로 가스질화법과 비교하여 약 2-2.5배 정도의 빠른 질화속도를 얻을 수 있어 생산성이 매우 높다. 에너지 효율 측면에서 플라즈마질화법은 피처리물
기술 정보
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