기술 개요
금속, 반도체와 더불어 그 응용범위가 확대 되어가고 있는 세라믹 재료의 가공기술은 반도체 재료의 가공기술의 발전과 함께 다양한 방법으로 시도되고 있다. Mn-Zn Ferrite 는 오디오, 비디오의 자기 테이프 및 헤드, 컴퓨터 기록장치인 FDD, HDD 의 자기헤드의 소재로 사용되는 등 그 응용범위가 매우 넓은 세라믹 재료이다.자기 기록용량을 크게하려면 페라이트를 미세가공할 필요가 있는데, 페라이트는 깨지기 쉽고, 화학적인 반응성이 낮기 때문에 기계적인 가공이나 종래의 화학습식식각으로는 정밀가공에 한계가 있다. 본 연구에서는 파장 514 ㎚의 Ar+ 레이저를 빔 확장기(expander) 와 집속 렌즈(focusing lens) 를 이용하여 집속 한 후 페라이트에 조사시킴으로써 레이저 유도 습식식각을 행하였
기술 정보
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