기술 개요
본 연구에서는 rf-sputtering 방법을 사용하여 양질의 고온초전도 박막을 제작한 후, 이 박막을 기판으로하여 고온초전도 마이크로스트립 패치안테나를 제작하고, 모멘트법을 이용하여 해석하였으며, 고온초전도 마이크로스트립 안테나 설계를 위한 프로그램 및 전자기적 특성 컴퓨터 시뮬레이션 프로그램을 개발하였다. ▣ 고온초전도 박막제조 및 미세가공 - 유전체 단결정기판(MgO, LaAlO3)위에 rf-magnetron sputtering법으로 YBCO 고온초전도 박막 제조 ▣ 고온초전도 마이크로스트립 안테나 배선 및 고주파특성 조사 - 사진식각에 의한 고온초전도 박막의 미세 형상화 및 박막의 특성 평가 - 고주파 설계 시스템에 의한 안테나 최적 패턴 및 전자기적 특성 컴퓨터 시뮬레이션 배선 및 고주파 특성 조사
기술 정보
한국산업기술진흥원(KIAT) 국가기술은행(NTB) 공개 데이터 기반 자동 정리 정보입니다. 이전 조건·세부사항은 보유기관 확인이 필요합니다.