개요
공정최적화 시스템 개발 동특성치의 로버스트 설계 방법을 개발하고 patterning공정의 위치와 선폭의 전사성과 관련하여 신호인자와 잡음인자를 결정하는 방법을 제시 순서화된 범주형 데이타로 얻어지는 특성치에 대한 여러 가지 분석방법을 비교 검토하여 어떠한 경우에 어떤 방법을 채택하는 것이 적절한가를 제시 다특성치간의 상호의존성을 고려한 분석방법의 개발과 현장에서의 적용이 용이한 간편법을 제시 시뮬레이터를 이용한 IC설계 단계에서 IC의 품질을 확보하는 로버스트 설계방법의 개발 생산계획 및 스케쥴링 시스템 개발 Oxidation공정에서 작업장방문횟수를 반영한 최적운영규칙 개발 포토공정에서 마스크변경시간을 감안한 최적 스케쥴링규칙 개발 제조라인 시뮬레이터의 개발 반도체제조라인의 시뮬레이션 및 스케쥴링 관련 연구의 조사와 연구개발전략 수립 포토공정의 모델 개발In-Line장비의 운영방식, 뱃칭, 셋업순서, 작업활동규칙, 투입정책 등의 운영방식을 평가할 수 있는 시뮬레이션모델 개발 엣칭공정의 모델 개발작업전 샘플링방식, 공용장비의 운용방식, 작업자의 작업사이클, 챔버클리닝 등의 예방정비방식 등을 평가할 수 있는 시뮬레이션 모델 개발 지능형 실시간 진도관리시스템 개발 포토공정의 실시간 의사결정 시스템 개발Input Regulation Rule, Dispatching Rule, batch Size의 최적조합 규칙의 발견 -규칙의 평가를 위한 시뮬레이션프로그램 및 GUI의 개발
상세 안내
이 기술은 기계 자동화 기술 분야에 속하며, 세부 분류는 기타 자동화 기술입니다. 기술 개발 상태는 기술개발완료이고, 이전 여부는 미이전입니다. 희망 거래방식은 라이센스이며, 이전 조건은 협의 후 결정입니다. 기술 상세 설명은 다음과 같습니다. 공정최적화 시스템 개발 동특성치의 로버스트 설계 방법을 개발하고 patterning공정의 위치와 선폭의 전사성과 관련하여 신호인자와 잡음인자를 결정하는 방법을 제시 순서화된 범주형 데이타로 얻어지는 특성치에 대한 여러 가지 분석방법을 비교 검토하여 어떠한 경우에 어떤 방법을 채택하는 것이 적절한가를 제시 다특성치간의 상호의존성을 고려한 분석방법의 개발과 현장에서의 적용이 용이한 간편법을 제시 시뮬레이터를 이용한 IC설계 단계에서 IC의 품질을 확보하는 로버스트 설계방법의 개발 생산계획 및 스케쥴링 시스템 개발 Oxidation공정에서 작업장방문횟수를 반영한 최적운영규칙 개발 포토공정에서 마스크변경시간을 감안한 최적 스케쥴링규칙 개발 제조라인 시뮬레이터의 개발 반도체제조라인의 시뮬레이션 및 스케쥴링 관련 연구의 조사와 연구개발전략 수립 포토공정의 모델 개발In-Line장비의 운영방식, 뱃칭, 셋업순서, 작업활동규칙, 투입정책 등의 운영방식을 평가할 수 있는 시뮬레이션모델 개발 엣칭공정의 모델 개발작업전 샘플링방식, 공용장비의 운용방식, 작업자의 작업사이클, 챔버클리닝 등의 예방정비방식 등을 평가할 수 있는 시뮬레이션 모델 개발 지능형 실시간 진도관리시스템 개발 포토공정의 실시간 의사결정 시스템 개발Input Regulation Rule, Dispatching Rule, batch Size의 최적조합 규칙의 발견 -규칙의 평가를 위한 시뮬레이션프로그램 및 GUI의 개발
상세 내용
기술 상세설명
공정최적화 시스템 개발 동특성치의 로버스트 설계 방법을 개발하고 patterning공정의 위치와 선폭의 전사성과 관련하여 신호인자와 잡음인자를 결정하는 방법을 제시 순서화된 범주형 데이타로 얻어지는 특성치에 대한 여러 가지 분석방법을 비교 검토하여 어떠한 경우에 어떤 방법을 채택하는 것이 적절한가를 제시 다특성치간의 상호의존성을 고려한 분석방법의 개발과 현장에서의 적용이 용이한 간편법을 제시 시뮬레이터를 이용한 IC설계 단계에서 IC의 품질을 확보하는 로버스트 설계방법의 개발 생산계획 및 스케쥴링 시스템 개발 Oxidation공정에서 작업장방문횟수를 반영한 최적운영규칙 개발 포토공정에서 마스크변경시간을 감안한 최적 스케쥴링규칙 개발 제조라인 시뮬레이터의 개발 반도체제조라인의 시뮬레이션 및 스케쥴링 관련 연구의 조사와 연구개발전략 수립 포토공정의 모델 개발In-Line장비의 운영방식, 뱃칭, 셋업순서, 작업활동규칙, 투입정책 등의 운영방식을 평가할 수 있는 시뮬레이션모델 개발 엣칭공정의 모델 개발작업전 샘플링방식, 공용장비의 운용방식, 작업자의 작업사이클, 챔버클리닝 등의 예방정비방식 등을 평가할 수 있는 시뮬레이션 모델 개발 지능형 실시간 진도관리시스템 개발 포토공정의 실시간 의사결정 시스템 개발Input Regulation Rule, Dispatching Rule, batch Size의 최적조합 규칙의 발견 -규칙의 평가를 위한 시뮬레이션프로그램 및 GUI의 개발
주요 항목
기술 정보, 이렇게 활용하세요
신기술 도입이나 사업화를 검토하는 중소기업은 이 기술의 분야·이전 조건을 확인해 R&D 부담을 줄이고 기술이전 협력을 추진하는 데 활용할 수 있습니다. 기술 도입·이전·사업화를 검토하는 중소기업이 참고하는 기술 정보입니다. 보유·도입 가능 기술의 분야와 조건을 파악해 R&D·사업화 전략에 활용됩니다.
- 도입 기술은 자사 생산공정·제품과의 적합성을 먼저 검토하세요.
- 기술보증·기술이전 지원사업과 연계하면 사업화 부담을 줄일 수 있습니다.
- 특허·인증 등 권리 관계를 확인하세요.
자주 묻는 질문
기술시장 거래정보는 어떻게 활용하나요?
도입·이전 가능한 기술의 분야·조건을 파악해 R&D·사업화 전략 수립과 기술 협력처 탐색에 활용합니다.
기술 도입 시 무엇을 확인해야 하나요?
자사 생산공정·제품과의 적합성, 특허·인증 등 권리관계, 사업화 비용을 함께 검토하고 기술보증·기술이전 지원사업과 연계하세요.
데이터 출처와 신뢰도는 어떻게 되나요?
공공데이터포털(data.go.kr)의 정부·공공기관 원천 데이터를 매일 자동 갱신해 제공합니다. 세부 사항은 원문에서 확인하세요.
기술시장 거래정보 공공데이터(data.go.kr)를 기반으로 작성된 정보입니다.