개요
강유전체 재료 중 대표적인 PZT재료는 높은 유전율을 갖고 있어 DRAM용 고유전율 재료에 선도적인 역할을 기대할 수 있고, 높은 잔류분극과 낮은 항전계를 갖고 있어 FRAM에 가장 적합한 특성을 갖고 있다. FRAM으로 PZT 박막을 활용하기 위해서는 종합공정개발은 물론 fatigue, imprint, retention 등의 신뢰성특성을 향상시켜야한다. 실리콘소자와 집적공정을 위해서는 전도도가 좋고 화학적으로 안정한 백금전극이 가장 많이 사용되고 있으나 전도성 산화물에 비해 신뢰성특성이 열악하여 1E6 cycle 이후에는 잔류분극이 급격히 감소한다. 본 실험실에서는 실리콘기판 위에 sol-gel 법으로 200nm 두께의 PZT박막을 제작하고 Pt/PZT/Pt 구조의 Capacitor를 제작하였으며 전기적특성과 신뢰성특성을 측정, 분석하였다.차세대 scale-down된 FRAM을 위하여 2.5V 이하에서도 동작이 가능하도록 항전압이 1-2Volt 정도이며 잔류분극이 20-30 uC/cm2이상이 되는 박막을 제작할 수 있었으며 1E10 cycle 까지 양호한 신뢰성특성을 갖고 있다.
상세 안내
이 기술은 재료 고분자재료 분야에 속하며, 세부 분류는 전기·전자기 기능재료입니다. 기술 개발 상태는 기타이고, 이전 여부는 미이전입니다. 희망 거래방식은 기술지도이며, 이전 조건은 협의 후 결정입니다. 기술 상세 설명은 다음과 같습니다. 강유전체 재료 중 대표적인 PZT재료는 높은 유전율을 갖고 있어 DRAM용 고유전율 재료에 선도적인 역할을 기대할 수 있고, 높은 잔류분극과 낮은 항전계를 갖고 있어 FRAM에 가장 적합한 특성을 갖고 있다. FRAM으로 PZT 박막을 활용하기 위해서는 종합공정개발은 물론 fatigue, imprint, retention 등의 신뢰성특성을 향상시켜야한다. 실리콘소자와 집적공정을 위해서는 전도도가 좋고 화학적으로 안정한 백금전극이 가장 많이 사용되고 있으나 전도성 산화물에 비해 신뢰성특성이 열악하여 1E6 cycle 이후에는 잔류분극이 급격히 감소한다. 본 실험실에서는 실리콘기판 위에 sol-gel 법으로 200nm 두께의 PZT박막을 제작하고 Pt/PZT/Pt 구조의 Capacitor를 제작하였으며 전기적특성과 신뢰성특성을 측정, 분석하였다.차세대 scale-down된 FRAM을 위하여 2.5V 이하에서도 동작이 가능하도록 항전압이 1-2Volt 정도이며 잔류분극이 20-30 uC/cm2이상이 되는 박막을 제작할 수 있었으며 1E10 cycle 까지 양호한 신뢰성특성을 갖고 있다.
상세 내용
기술 상세설명
강유전체 재료 중 대표적인 PZT재료는 높은 유전율을 갖고 있어 DRAM용 고유전율 재료에 선도적인 역할을 기대할 수 있고, 높은 잔류분극과 낮은 항전계를 갖고 있어 FRAM에 가장 적합한 특성을 갖고 있다. FRAM으로 PZT 박막을 활용하기 위해서는 종합공정개발은 물론 fatigue, imprint, retention 등의 신뢰성특성을 향상시켜야한다. 실리콘소자와 집적공정을 위해서는 전도도가 좋고 화학적으로 안정한 백금전극이 가장 많이 사용되고 있으나 전도성 산화물에 비해 신뢰성특성이 열악하여 1E6 cycle 이후에는 잔류분극이 급격히 감소한다. 본 실험실에서는 실리콘기판 위에 sol-gel 법으로 200nm 두께의 PZT박막을 제작하고 Pt/PZT/Pt 구조의 Capacitor를 제작하였으며 전기적특성과 신뢰성특성을 측정, 분석하였다.차세대 scale-down된 FRAM을 위하여 2.5V 이하에서도 동작이 가능하도록 항전압이 1-2Volt 정도이며 잔류분극이 20-30 uC/cm2이상이 되는 박막을 제작할 수 있었으며 1E10 cycle 까지 양호한 신뢰성특성을 갖고 있다.
주요 항목
기술 정보, 이렇게 활용하세요
신기술 도입이나 사업화를 검토하는 중소기업은 이 기술의 분야·이전 조건을 확인해 R&D 부담을 줄이고 기술이전 협력을 추진하는 데 활용할 수 있습니다. 기술 도입·이전·사업화를 검토하는 중소기업이 참고하는 기술 정보입니다. 보유·도입 가능 기술의 분야와 조건을 파악해 R&D·사업화 전략에 활용됩니다.
- 도입 기술은 자사 생산공정·제품과의 적합성을 먼저 검토하세요.
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자주 묻는 질문
기술시장 거래정보는 어떻게 활용하나요?
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기술 도입 시 무엇을 확인해야 하나요?
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데이터 출처와 신뢰도는 어떻게 되나요?
공공데이터포털(data.go.kr)의 정부·공공기관 원천 데이터를 매일 자동 갱신해 제공합니다. 세부 사항은 원문에서 확인하세요.
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