개요
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 낮은 비저항과 가시광 영역에서 높은 광투과도를 갖는 AZO투명 도전막을 제조하고 타겟내의 Al2O3 첨가량, 기판온도, RF 출력, 분위기압 등 제조조건에 따릉 AZOakr의 구조적, 전기적, 및 광학적 특성을 조사하였다.투명도전막으로서의 최적조건은 3wt%의 Al2O3가 첨가된 타겟으로 기판온도 150도, 분위기압 2mTorr, RF 출력 150W였으며 이때 AZO막의 비저항 및 캐리어논도는 각각 4.710-4cm 및 7.51020cm-3이었다. 두께가 1500인 AZO막의 경우 550nm에서 광투과율은 90%이상이었다. AZO막의 비저항 및 광투과율은 Hall이동도와 캐리어농도 뿐만 아니라 막막의 미시구조에 의해서도 영향을 받음을 알수 있었다.
상세 안내
이 기술은 재료 세라믹재료 분야에 속하며, 세부 분류는 기타 세라믹재료입니다. 기술 개발 상태는 기타이고, 이전 여부는 미이전입니다. 희망 거래방식은 기술지도이며, 이전 조건은 협의 후 결정입니다. 기술 상세 설명은 다음과 같습니다. RF 마그네트론 스퍼터링법으로 낮은 비저항과 가시광 영역에서 높은 광투과도를 갖는 AZO투명 도전막을 제조하고 타겟내의 Al2O3 첨가량, 기판온도, RF 출력, 분위기압 등 제조조건에 따릉 AZOakr의 구조적, 전기적, 및 광학적 특성을 조사하였다.투명도전막으로서의 최적조건은 3wt%의 Al2O3가 첨가된 타겟으로 기판온도 150도, 분위기압 2mTorr, RF 출력 150W였으며 이때 AZO막의 비저항 및 캐리어논도는 각각 4.710-4cm 및 7.51020cm-3이었다. 두께가 1500인 AZO막의 경우 550nm에서 광투과율은 90%이상이었다. AZO막의 비저항 및 광투과율은 Hall이동도와 캐리어농도 뿐만 아니라 막막의 미시구조에 의해서도 영향을 받음을 알수 있었다.
상세 내용
기술 상세설명
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 낮은 비저항과 가시광 영역에서 높은 광투과도를 갖는 AZO투명 도전막을 제조하고 타겟내의 Al2O3 첨가량, 기판온도, RF 출력, 분위기압 등 제조조건에 따릉 AZOakr의 구조적, 전기적, 및 광학적 특성을 조사하였다.투명도전막으로서의 최적조건은 3wt%의 Al2O3가 첨가된 타겟으로 기판온도 150도, 분위기압 2mTorr, RF 출력 150W였으며 이때 AZO막의 비저항 및 캐리어논도는 각각 4.710-4cm 및 7.51020cm-3이었다. 두께가 1500인 AZO막의 경우 550nm에서 광투과율은 90%이상이었다. AZO막의 비저항 및 광투과율은 Hall이동도와 캐리어농도 뿐만 아니라 막막의 미시구조에 의해서도 영향을 받음을 알수 있었다.
주요 항목
기술 정보, 이렇게 활용하세요
신기술 도입이나 사업화를 검토하는 중소기업은 이 기술의 분야·이전 조건을 확인해 R&D 부담을 줄이고 기술이전 협력을 추진하는 데 활용할 수 있습니다. 기술 도입·이전·사업화를 검토하는 중소기업이 참고하는 기술 정보입니다. 보유·도입 가능 기술의 분야와 조건을 파악해 R&D·사업화 전략에 활용됩니다.
- 도입 기술은 자사 생산공정·제품과의 적합성을 먼저 검토하세요.
- 기술보증·기술이전 지원사업과 연계하면 사업화 부담을 줄일 수 있습니다.
- 특허·인증 등 권리 관계를 확인하세요.
자주 묻는 질문
기술시장 거래정보는 어떻게 활용하나요?
도입·이전 가능한 기술의 분야·조건을 파악해 R&D·사업화 전략 수립과 기술 협력처 탐색에 활용합니다.
기술 도입 시 무엇을 확인해야 하나요?
자사 생산공정·제품과의 적합성, 특허·인증 등 권리관계, 사업화 비용을 함께 검토하고 기술보증·기술이전 지원사업과 연계하세요.
데이터 출처와 신뢰도는 어떻게 되나요?
공공데이터포털(data.go.kr)의 정부·공공기관 원천 데이터를 매일 자동 갱신해 제공합니다. 세부 사항은 원문에서 확인하세요.
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